防静电吸盘与静电吸盘的区别

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        防静电吸盘广泛应用于真空冶炼、真空干燥、化工、制药、轻工和电真空工业及其它领域,静电吸盘由于存在静电,吸附力更紧。

  静电吸盘有以下特征

防静电吸盘与静电吸盘的区别

  1。靠静电荷的同性相吸来固定硅片,吸力更大。

  2。静电吸盘与晶片接触的表面有一层电介质。以前的吸盘用的电介质多为有机材料或阳极氧化层,现在已普遍采用陶瓷使用。

  3。静电吸盘的电介质层中镶嵌着一个直流电极,用以接通到高压(低流)直流电源。

  4。在静电吸盘中,除了直流电极外,还有射频电极。此外,吸盘中也需要冷却液的循环渠道和氦气的气道。其设计还是需要特别小心细致的。而且,它的设计受到别的方面的制约,如体积不能过大,否则会堵塞或降低反应腔的排气速度


         由于部分化工制药行业不适宜使用静电吸盘,因此推荐防静电吸盘

防静电吸盘与静电吸盘的区别

防静电吸盘优点是使用绝缘材料,不会产生静电,不必担心因静电引发的火花等隐患。防静电吸盘与静电吸盘区别就介绍到这里。